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东方晶源上新良率优化系统PME，打造半导体智能制造新数据引擎 东方晶源智能良率优化系统PME(Process Margin Explorer)已在客户现场完成部署，正式步入产品验证与评估阶段。作为继ODAS(CD-SEM智能离线数据系统)、YieldBook(综合良率管理系统)之后践行HPO(Holistic Process  Optimization)理念落地的又一力作，PME深度融入东方晶源"设备-数据-算法"三位一体、软硬协同的良率提升解决方案，成为撬动半导体先进制程良率瓶颈的战略工具之